دستگاه میکروسکوپ سهبعدی نانومتری نوری ساخته شده توسط شرکت دانشبنیان فتح نور میهن، نمونهای توسعهیافته از ابزارهای اندازهگیری سهبعدی در مقیاس نانو است. این دستگاه بر اساس پدیده تداخل، در دو مد تداخلسنجی میکروسکوپی نور سفید و تداخلسنجی جابجایی فاز عمل کرده و شکل و ناهمواری سطوح را با دقتی از مرتبه نانومتر اندازهگیری میکند. بنابراین غیرمخرب بوده و هیچ آسیبی به نمونه مورد آزمون وارد نمیکند.
در کنار دقت و تکرارپذیری از مرتبه نانومتر، سرعت دادهبرداری بالاتر، وسعتدید بیشتر و امکان اندازهگیری ناهمواریهای بزرگتر بدون کاهش دقت از جمله ویژگیهای راهبردی و مزیتهای این محصول در مقایسه با دستگاههای دارای کاربری مشابه است.